在日常对洁净区域进行洁净度检测时,所检测的数据应该满足洁净厂房的设计要求,如果达不到时,应立即对空气过滤器进行扫描以及对系统的密封性能进行检查。如果空气过滤器泄漏,应该用胶水填充或更换。
在正常使用情况下,当空气过滤器的很终电阻是初始电阻的2-3倍时,应更换空气过滤器。因为空气过滤器会对气流形成阻力,并且空气过滤器会积聚灰尘,所以阻力会增加。当阻力增加到规定值时,其过滤效率将大大降低,因此需要更换。
因为更换末端空气过滤器的风险和间接成本将很高,所以延长空气过滤器使用寿命的方法是定期更换空气过滤器。