在日常对洁净区域进行洁净度检测时,所检测的数据应该满足洁净厂房的设计要求,如果达不到时,应立即对空气过滤器进行扫描以及对系统的密封性能进行检查。如果空气过滤器泄漏,应该用胶水填充或更换。
因为更换末端空气过滤器的风险和间接成本将很高,所以延长空气过滤器使用寿命的方法是定期更换空气过滤器。
在日常对洁净区域进行洁净度检测时,所检测的数据应该满足洁净厂房的设计要求,如果达不到时,应立即对空气过滤器进行扫描以及对系统的密封性能进行检查。如果空气过滤器泄漏,应该用胶水填充或更换。
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